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クリーンルームとは

クリーンルームって何

温度、湿度を快適な状態にして、そして外からのゴミ(浮遊物)が侵入しないように室圧を制御した部屋がクリーンルームです。

「空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、その空間に供給される材料、薬品、水やその他についても不純物、ゴミを取り除いてゴミを持ち込ませないようにしようとする空間」のことで、半導体の製造等でクリーンルーム内での製品の製造過程で小さな浮遊物等の付着も許されない場合や、食品加工等の細菌の繁殖が品質に影響を及ぼす可能性がある場合に必要な作業空間内のホコリやゴミを限定した数値に清浄度(クラス)を管理する部屋です。

温度、湿度を快適な状態にするため、クリーンルームの中で使用する薬材、洗浄水で部屋の中の粒子の濃度が濃くならないようにしなければならないし、クリーンルーム内が暑いと、中で作業する人の汗等で汗を嫌う製品の場合は、温度管理も必要になります。
外からのゴミが侵入しないように部屋の圧力を制御させ、室内の清浄な風はその向きと速さなどの風の形状と気流の分布を一定の範囲に制御するために設計します。

クリーンルームの四原則

持ち込まない

  • 材料、機器は洗浄して持ち込む
  • 室圧制御(室内から室外への気流状態)
  • 人の出入りはエアーシャワーより行なう

発生させない

  • 無塵衣着用
  • 発塵しやすい材料、備品は使わない
  • ムダな動きを行わない

堆積させない

  • 清掃しやすい構造、ゴミ留りをつくらない設計
  • 露出は少なく・凹凸の無い設計
  • 帯電させない、除電する

排除する

  • 発塵部付近で排気する
  • 気流形状の妨げを極力なくす

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