どのくらいキレイになるの
空気のキレイなレベルを清浄度(クラス)といって、清浄度(クラス)の示す尺度として単位体積に含まれる粒子の数で表現するのが一般的です。
クリーンルームにおける空気清浄度を表す規格は国際統一規格であるISO規格に移行されています。ISO規格では1㎥当たりの空気中に0.1μm以上の粒子が基準になっておりISOクラス1~9までクラスを分類しております。
これまで広く慣用されている米国連邦規格では、1立方フィート(約30cm四方の箱)の空気中に含まれる0.5μm以上の大きさの粒子の数がいくつかで、クリーンルームのクラス分けをしています。
清浄度 クラス |
米国連邦規格209E 洗浄度クラス |
次の対象粒径以上の粒子に対する上限粒子数濃度(個/㎥) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
0.1µm | 0.2µm | 0.3µm | 0.5µm | 1µm | 5µm | ||
1 | 10 | 2 | |||||
2 | 100 | 24 | 10 | ||||
3 | 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | ||
4 | 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
5 | 100 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | |
6 | 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
7 | 10,000 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
8 | 100,000 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
当社で最も依頼があるのはクラス10,000です。
一般的な工場や検査工程のクリーンルームとして求められるクラスとなります。
また、当社ではご要望に応じてクラス100,000~10,000、あるいは条件によってはクラス1,000も対応可能です。