クリーンルームの仕組み

クリーンルームは、クリーンルームパーティションで壁・天井と床材を構成して、HEPAフィルター（超高性能フィルター）を通過した清浄な空気を絶えず供給して部屋内を循環させ、清浄な空間を作り出します。
クリーンルームの仕組みは基本的に次の3ステップになります。

密閉する
清浄な空気を供給する
喚起を行う

まず、循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成します。
0.3μm以上の大きさの粒形を99.99％の捕集効率を有するHEPAフィルターにて空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄な空気をクリーンルーム室内いっぱいに拡散させます。拡散した室内の空気を空調機で吸い込み、空気を循環させます。この流れを循環ファンにて行い、循環サイクルを形成します。

次に、クリーンルーム室内に外部からの汚染の流入を防ぐためにクリーンルームの室内を陽圧に保たせなければなりません。
陽圧を保つために、外気処理をした空気をHEPAフィルターの一次側である空調機本体に取り入れて循環エアーと混合します。取り入れる外気処理した空気量と同様の空気量を排出することで陽圧を保ちます。